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大范圍壓電掃描臺Carrier.S200.XY
產品簡介

室溫 ·壓電運動?案 —“Carrier. 系列“ ??程掃描載物臺 — 精密光學，半導體表征

產品型號：
更新時間：2024-05-21
廠商性質：生產廠家
訪問量：3002
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室溫 ·壓電運動?案 —“Carrier. 系列“ ??程掃描載物臺 — 精密光學，半導體表征


?范圍壓電掃描臺Carrier.S200.XY產品特?

• 兩維度XY 掃描運動 200 um × 200 um；

• 閉環定位精度優于 1nm；

• 最?負載 500 g；

• 針對光學顯微鏡-超分辨定制化解決?案；

• ?持?磁( .NM)和?真空( .UHV)選件升級


Carrier.S200.XY ?范圍壓電掃描臺 — 技術參數
 

可選版本 ?

正常版本

.NM     絕對?磁版本；

.HV，     ?真空版本 ;

.UHV ，超?真空版本；

1           底?尺?*?度

180 mm × 150 mm × 20 mm

2           主體材料

鋁合?

3            中空透孔

80 mm × 60 mm

4           運動?程

200 um × 200 um

5            閉環分辨率

優于1nm

6           推薦最?負載

500 g

7            閉環傳感器

電容式

8            電容精度

0.3 nm

9           壓電電容(X, Y)

6.5 uF

15 到 40 攝?度

10          推薦使?溫度

11          質量

1 kg

12          安裝

螺紋孔?動兼容 Carrier.L7550.XY

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