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高速壓電位移臺
產品簡介

高速壓電位移臺:靜音運動;高運動速度;閉環運動控制;納米級分辨率。

產品型號:Speed系列
更新時間:2026-02-26
廠商性質:生產廠家
訪問量:102
詳細介紹在線留言

“Speed系列"高速壓電位移臺——LS50x.Speed

產品特色

· 靜*運動

· 高運動速度

· 閉環運動控制

· 納米級分辨率

產品圖片&尺寸

產品參數

1

可選版本

.NM,絕**磁版本;

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

2

外形尺寸

50 × 50 × 14 mm

3

主體材料

標準版  鋁合金,鋼:120 g;.HV/.UHV:鈦,鋼:150 g;.NM 鈦,陶瓷:130 g

4

運動行程

24 mm

5

速度范圍

默認:5 mm/s ~ 200 mm/s ;.HV & .UHV 版本:5 mm/s ~ 20 mm/s

6

驅動力

2 N

7

保持力

3 N

8

水平方向使用*大負載

2 kg

9

豎直方向使用*大負載

100 g

10

雙向重復定位精度

± 250 nm

11

全行程俯仰/偏擺

0.3 mrad

12

最小步伐(開環)

50 nm

13

位置傳感器類型

光學位置傳感器

14

位置傳感器分辨率

2 nm

15

線纜 & 接頭

默認:屏蔽線纜D-Sub15;.UHV版本:Kapton 漆包線,D-Sub15 (PEEK)

16

控制器規格

MC-Doppler系列

“Speed系列"線性位移臺——LS65x.Speed

產品特色

· 靜*運動

· 高運動速度

· 閉環運動控制

· 納米級分辨率

產品圖片&尺寸

產品參數

1

可選版本

.NM,絕**磁版本;

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

2

外形尺寸

65 × 65 × 15 mm

3

主體材料

標準版  鋁合金,鋼:200 g;.HV/.UHV:鈦,鋼:270 g;.NM 鈦,陶瓷:240 g

4

運動行程

30 mm

5

速度范圍

默認:5 mm/s ~ 200 mm/s ;.HV & .UHV 版本:5 mm/s ~ 20 mm/s

6

驅動力

3 N

7

保持力

4 N

8

水平方向使用*大負載

3 kg

9

豎直方向使用*大負載

150 g

10

雙向重復定位精度

± 250 nm

11

全行程俯仰/偏擺

0.3 mrad

12

最小步伐(開環)

50 nm

13

位置傳感器類型

光學位置傳感器

14

位置傳感器分辨率

2 nm

15

線纜 & 接頭

默認:屏蔽線纜D-Sub15;.UHV版本:Kapton 漆包線,D-Sub15 (PEEK)

16

控制器規格

MC-Doppler系列

“Speed系列"線性位移臺——LS105x.Speed

產品特色

· 靜*運動

· 高運動速度

· 閉環運動控制

· 納米級分辨率

產品圖片&尺寸

產品參數

1

可選版本

.NM,絕**磁版本;

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

2

外形尺寸

105 × 105 × 20 mm

3

主體材料

標準版  鋁合金,鋼:660 g;.HV/.UHV:鈦,鋼:960 g;.NM 鈦,陶瓷:910 g

4

運動行程

60 mm

5

速度范圍

默認:5 mm/s ~ 200 mm/s ;.HV & .UHV 版本:5 mm/s ~ 20 mm/s

6

驅動力

4 N

7

保持力

5 N

8

水平方向使用*大負載

5 kg

10

雙向重復定位精度

± 250 nm

11

全行程俯仰/偏擺

0.2 mrad

12

最小步伐(開環)

50 nm

13

位置傳感器類型

光學位置傳感器

14

位置傳感器分辨率

2 nm

15

線纜 & 接頭

默認:屏蔽線纜D-Sub15;.UHV版本:Kapton 漆包線,D-Sub15 (PEEK)

16

控制器規格

MC-Doppler系列

“Speed系列"旋轉位移臺 — RS65.Speed

產品特色

· 高扭矩

· 高轉速

· 閉環控制,內置光柵位置傳感器

· 空間緊湊

產品圖片&尺寸

產品參數

1

可選版本

.NM,絕**磁版本;.HV,高真空版本;.UHV,超高真空版本

2

外形尺寸

65 × 65 × 25 mm

3

主體材料

標準版 /.NM 鋁合金:330 g;.HV/.UHV 鈦合金:360 g

4

運動行程

360°

5

速度范圍

默認:60 °/s ~ 720 °/s;.HV & .UHV 版本:推薦使用 60 °/s

6

*大負載

2 kg

7

額定力矩

0.5 N·m

8

*大力矩

0.8 N·m

9

保持力矩

0.8 N·m

10

最小步伐

15 μrad

11

位置傳感器類型

光學位置傳感器

12

位置傳感器分辨率

1 μrad

13

線纜 & 接頭

默認:屏蔽線纜 D–Sub15;.UHV 版本:Kapton 漆包線,D–Sub15 (PEEK)

14

控制器規格

MC–Doppler 系列

“Speed系列"旋轉位移臺 — RS105.Speed

產品特色

· 高扭矩

· 高轉速

· 閉環控制,內置光柵位置傳感器

產品圖片&尺寸

產品參數

1

可選版本

.NM,絕**磁版本;.HV,高真空版本;.UHV,超高真空版本

2

外形尺寸

105 × 135 × 23 mm

3

主體材料

標準版 /.NM 鋁合金:800 g;.HV/.UHV 鈦合金:1 kg

4

運動行程

360°

5

速度范圍

默認:1.3 °/s ~ 360 °/s;.HV & .UHV 版本:推薦使用 36 °/s

6

*大負載

5 kg

7

額定力矩

0.4 N·m

8

*大力矩

0.6 N·m

9

保持力矩

0.6 N·m

10

最小步伐

0.75 μrad

11

位置傳感器類型

光學位置傳感器

12

位置傳感器分辨率

1 μrad

13

線纜 & 接頭

默認:屏蔽線纜 D–Sub15;.UHV 版本:Kapton 漆包線,D–Sub15 (PEEK)

14

控制器規格

MC–Doppler 系列



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